nXDS干式渦旋真空泵特點10i/15i/20i

nXDS干式渦旋泵常用的三款型號：nXDS10i、nXDS15i、nXDS20i、具備出色的抽氣能力，極限真空性能和的設計特

性，性能居同類產(chǎn)品

產(chǎn)品特點：

溫控風扇：可以在低負載條件下降低風扇轉速，從而使最小噪聲降至僅52dB(A).

軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進入

潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。

變頻器驅動：全球范圍內泵性能*相同，易于控制、功耗降低和自動電壓調整特性，從而有助于打造用戶

體驗。

優(yōu)化渦盤設計：轉速提高，真空提高一個數(shù)量級，壓力僅為7*10-3mbar。

優(yōu)化端面密封技術：使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數(shù)應用而言，典型的端面密封條使用壽命達到2年以上。